洁净厂房管道材料、阀门和附件
1、根据不同的气体及其纯度和用途，管道材料应按下列规定选用：
一、气体纯度大小或等于99.999%时，应采用不锈钢管。
二、气体纯度大于或等于99.99%时，宜采用不锈钢管、铜管、无缝钢管。
三、气体纯度小于99.99%时，可采用无缝钢管。
四、管道与设备的连接段，宜采用金属管道；如为非金属软管时，宜采用聚四氟乙烯管、聚乙烯管、不得采用乳胶管。
2、高纯气体管道应采用密封性能好的低门和附件，其材料与管道相适应。阀门的密合圈应为有色金属、不锈钢或聚四氟乙烯材料。阀门的填塞料应采用聚四氟乙烯材料。
3、 高纯气体管道与附件连接的密封垫，应采用不锈钢、有色金属、聚四氟乙烯或氟橡胶材料。
